超精密三维表面形貌测量平台

现代高端机械制造对几何尺寸测量精度的要求越来越高,特别是对不加任何预处理的深色、透明、反光的材质的超精密三维非接触扫描测量一直是一个难以逾越的难题。FS系列超精密三维表面形貌测量平台就是应这个要求而开发的,其显著特征包括:

几乎可对任何特性的表面进行超精密3D测量

  • 可完成黑色、透明、反光等表面的非接触三维扫描测量
  • ±42.5°大角度测量能力,获取更多极限和边缘处数据
  • 测量范围小至集成电路,大至手机屏

纳米级分辨率与测量精度

  • 垂直分辨率达17nm
  • 水平分辨率可达1微米
  • 测头精度达14nm

测量效率高、稳定性好

  • 仅需三步设置即可一键开始测量,节约时间精力
  • 最高20mm/s扫描速度,通常数分钟之内即可完成测量
  • 级大理石隔振设计,隔离1Hz以上环境振动影响
  • XY轴提供 分辨率光栅尺反馈,数据可重复性高

主流微观几何测量功能

  • 点、线、面三种测量模式,应对从简单到复杂的测量任务
  • 2D轮廓测量,包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
  • 3D形貌测量,包含体积、表面积、翘曲度和腐蚀分析等
  • 符合国际ISO25178标准的面粗糙度测量分析

软件功能强大、开放接口

  • 一键初始化,动态显示测量数据、测量进程和设备状态
  • 采样频率、点间距、扫描范围等参数均可调
  • 提供第三方开发接口,方便用户进行二次开发

操作简单易维护

  • 出厂前已完成精度校准,无需在日常使用中进行校准操作
  • 无需对样品倾斜校正,存在较小倾斜角度仍能正常测量
  • 受环境振动、光线、温 度等因素影响小
  • 完备的软硬件培训和技术支持服务,及时解决用户问题

说明:实物外观图片仅供参考

技术参数

基本参数 FS-Compact FS-100 FS-Premium
测量速度
20mm/s
测量点间距
1-100μm
载物台尺寸 150x150mm 200x200mm 400x400mm
Z轴升降 手动 自动 自动
垂直方向行程
100mm
水平方向行程 100x100mm 120x120mm 250x250mm
水平方向定位精度
1μm/100mm
Z定点测量范围
1400μm,100-42000μm可选配
Z轴横向分辨率
最高1μm
Z轴轴向分辨率 17nm (1.7nm可选) 17nm (1.7nm可选) 20nm
Z轴测量精度
150nm (14nm可选)
采样频率
100-2000Hz
设备长宽高 400x550x600mm 700x1080x1300mm 2200x1800x2100mm
承重 5kg 10kg 20kg
电源
100~240VAC, 0.8A, 50-60Hz

主要功能

2D轮廓和台阶高度:

  • 长宽高、深度、角度、弧度
  • 间隙和断差、台阶高
  • 平整度

3D轮廓和表面形貌:

  • 三维超精细视图
  • 体积计算
  • 表面积计算
  • 翘曲度测量

ISO25178标准表面粗糙度:

  • 面粗糙度
  • 线粗糙度
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